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超聲波清洗機(jī)超聲能量計(jì)
發(fā)布者:admin 發(fā)布時(shí)間:2013-06-27 閱讀:2238次 【字體:
 
超聲波清洗機(jī)超聲能量計(jì)
 
在微電子、半導(dǎo)體等高技術(shù)產(chǎn)品的精細(xì)清洗過程中,控制在清洗槽中的聲能水平是很重要的一環(huán)。過高的能量會(huì)損壞清洗元件,過低則達(dá)不到洗凈目的。美國(guó)ppb公司自1996年開始生產(chǎn)超聲能量計(jì)并用于超聲清洗過程的控制。
 
①原理
采用壓電晶體接收聲能,壓電接收器的頻率響應(yīng)在20 kHz到幾MHz范圍內(nèi)是乎直的,輸出信號(hào)為各個(gè)諧波的疊加,然后求出復(fù)雜波形的有效值(RMS值),此值用DC輸出作數(shù)碼顯示,不是求平均值。
 
②結(jié)構(gòu)
探頭是一種半球形的外殼,材料是乙烯反內(nèi)烯(EPDM),窗口透鏡用石英做成。在半球殼的45。方向上裝有管子,管子材料用316不繡鋼,外徑6.35mm,508mm長(zhǎng),外包Teflon材料。有接頭可與手提儀表連接,也可以直接裝在清洗槽的面板上。
 
③校準(zhǔn)
在美國(guó)海軍水聲校7S系統(tǒng)中進(jìn)行標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)探頭,然后專門制造帶有一個(gè)40 kIIz換能器的清洗棺,探頭精確固定在槽中的固定位置,將測(cè)量探頭與標(biāo)準(zhǔn)探頭比較,標(biāo)定讀數(shù)。
 
④應(yīng)用
a.衡量清洗槽中的超聲能量密度(w/m2)。因?yàn)榧词馆斎霌Q能器的功率不變,但是由于清洗液的蒸氣壓及化學(xué)成分的改變,其空化能量會(huì)變化,用此儀器測(cè)量的能量包括空化能量。
 
b.設(shè)定清洗槽中的能量水平。
 
c.在不同超聲清洗槽之間建立相同的能量水平
 
d.測(cè)量檢查超聲清洗槽中的能量分布。
 
e.可在超聲清洗槽中某一固定位置測(cè)量能量的平均值、最小值、最大值及標(biāo)準(zhǔn)偏差,在LCD顯則s值(w/m2),所有數(shù)據(jù)可以貯存在l00個(gè)記憶單元中,然后輸出到PC機(jī)中處理,可顯示頻率。
 
 
本文作者:常宏藥機(jī)
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